plasma的刻蚀精度要看Aspect ratio,还有离子密度。
🙂哈哈,写错了,呵呵 贪玩的风筝 字22 2009-03-04 16:35:03
🙂有宝 大龙猫 字88 2009-03-03 21:48:30
🙂也说说Fab吧 7 时常数 字783 2009-03-03 12:44:37
🙂对了,就是plasma etcher
🙂45nm 西潜1号 字63 2009-03-03 13:23:21
🙂理论上蚀刻和纳米没有关系 3 可梦之 字536 2009-03-03 12:57:29
🙂转眼间 西潜1号 字163 2009-03-03 13:51:15
🙂我记得好像是这样的 2 可梦之 字338 2009-03-03 14:06:08
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