主题：【讨论】发到河里来，让大家看一下这个才叫好帖 -- 狙个梨子

那本书是对的，早期几乎所有的人都乐观的认为EUV会快速商业化。

/

96年的时候朗讯的原型机已经几乎定型

https://doi.org/10.1116/1.588618

就是这篇文章里提到的这台。

但是没想到pre-pulse laser irradiation 这个技术卡了整整15年。

/

等到Cymer解决了这个问题，光源功率立刻就达到了120W

ASML随即做出了产品。

然后解决了锡的污染问题，就是你提到的商业化成品NXE3100了

/

说真的，要不是这么一卡，大概率没有浸没光刻的事，可能我们现在已经直奔EBL了。

技术的发展是充满了偶然与巧合的，商业上需求的技术，可能在学术上有几种甚至几十种在排队竞争，某些学术竞争背后涉及到的商业利益是非常庞大的，把某个大组拖个几年后腿就可能改变整个人类的科技走向。