套刻精度英文叫Overlay,是当层跟前层的对准精度,跟线宽(英文叫Critical Dimension)不是一回事
压缩 2 层
🙂前提是产能和良率能达到量产的标准 3 zju 字114 2024-09-16 23:51:22
🙂28已被超越? 11 审度 字495 2024-09-16 12:51:35
🙂这能说明我国28nm可以自主了吗 3 亮子 字87 2024-09-16 11:03:43
🙂套刻精度
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