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主题:工业和信息化部官宣:新一代DUV -- dudu8972

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家园 套刻精度

套刻精度英文叫Overlay,是当层跟前层的对准精度,跟线宽(英文叫Critical Dimension)不是一回事

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有趣有益,互惠互利;开阔视野,博采众长。
虚拟的网络,真实的人。天南地北客,相逢皆朋友

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