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主题:对《2022年美国竞争法案》的分析(一) -- 笑看风雨

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家园 28nm有了,14nm就一定有

用现在的DUV,多重曝光就可以做14nm,不过掩膜多几个,良品率低一点。中芯国际就这样做成了14nm,甚至可以做到14nm+,功耗和10nm相当,性能略逊色。

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