主题：【原创】雪夜妖谈-引子 -- 夜如何其
共:💬1382 🌺14833 🌵366
复 不是
Intel做10nm（相当于7nm）就要四次曝光了（SAQP），光刻机的波长在193停滞了十几年，直到EUV出来。如果一次曝光能搞定那成本就把EUV打死几次都够了。
- 相关回复 上下关系8
压缩 26 层
🙂不是 10 南门桥 字439 2023-09-07 21:42:08
🙂你这说的完全错误 5 moletronic 字66 2023-09-08 14:34:16
🙂你这帽子有点大 6 南门桥 字757 2023-09-11 00:09:36
🙂7nm一次曝光能做到？
🙂不大可能 5 fakeone 字234 2023-09-08 18:44:08
🙂5nm工艺中最细小的结构-鳍的物理尺寸大约是36~38nm 7 披狼皮的羊 字0 2023-09-10 11:42:25
🙂工艺啥的决定于最小方向的尺寸吧 4 fakeone 字141 2023-09-11 03:11:33
🙂现在ASML 的EUV光刻机数值孔径0.33 7 fakeone 字121 2023-09-09 22:18:31