主题：【原创】从乙烯产量看中国轻工业的发展 -- wolfgan

70年代中期，国内使用较好的有清华的同步相机和上海的六头自动分步相机。

上海元件五厂、复旦大学、北京自动化研究所三家合作研制的激光定位6头自动分步重复照相机也不错，一次可照六块版， 可以互套， 可以补版， 因此效率高， 设备使用多年，稳定性也不错。

不过口碑最好、用户最多的还是清华大学的激光定位单头自动分步重复照相机，精度高，镜头视场大，尤其自动调焦功能既方便又准确。清华的分步相机几乎国内所有的半导体企业都在使用，普遍反映良好。

清华团队在项目上马前曾赴上海做了市场调研，当时上海企业用的最多的是日本进口的6头分步相机，而单头分步相机只看到了一台，德国进口的。清华精仪系的研制团队是专业做仪器设计的，他们认为从仪器设计的专业角度来看，6头设计在原理上有根本缺陷，所以他们采用了单头方案。

清华的分步相机上市的时候，很快就赢得了市场，因为进口的6头分步相机当时已经暴露出精度下降快的缺点。可以想象，如果没有国产的分步相机替代，中国的电子企业还将大量进口分步相机。

到70年年代中期的时候，清华的分步相机已经迭代了3代，精度、性能和功能都较第一代有了大幅提高，到70年代后期，清华的分步相机已经迭代了5代，可加工线宽1微米。随后清华的研制重心转向可在芯片上直接紫外投影的分步投影光刻机（也就是今天说的光刻机），加工线宽也进入到亚微米级。

清华的半导体设备1970年几乎从0起步，从基础的可稳频的氦-氖气体激光器的研制做起，直到精密导轨、丝杠、滚珠、步进电机、数字控制用的计算机、光学系统、大孔径的投影物镜等都自行设计制造，短短几年，就建立了整个技术体系和技术平台，先后共研究开发了近十种型号的激光干涉定位分步重复照相机、紫外曝光铬版精缩机、图形发生器、自动对准分步投影光刻机以及电子束曝等系列半导体加工设备。