主题：ASML工程师"俗不可耐"谈长春光机所——为了发论文而发论文 -- 思想的行者
家园 ASML工程师"俗不可耐"谈长春光机所——为了发论文而发论文 关于光刻机，中文论坛流行着一股非常乐观的论调，诸如本河有人非常乐观宣称5年内全产业链打通云云。
但是我们需要明白一点国内各个机构以及自媒体发布出来的消息很多是出于私利而发布出来的, 真实性值得怀疑。
我这里引用一个自称是ASML做光源研发的博主“俗不可耐”的相关段落以及某个视频，说明一下他所认为的中国在EUV光源研发方面的问题。
简单点说，Euv光源有两条路线，DPP和LPP，前者由于具体的物理机制，要达到高功率很难甚至于不可能，但长春光机所却一直集中于这条研发路线 ，（作者认为）原因在于只能认DPP路线西方已经不再继续研究，因而更容易发表论文，而lPP路线因为已经商业化，长春光机所达不到人家已经商业化的水准，无法发表论文，无法评选杰青，院士，长江学者，于是都去研究被西方抛弃了的DPP。
我文摘几段：
这个技术的优点是容易实现，缺点是发光功率很难提升上去，因为作为靶材气体的密度还是太小，不足以提供足够的等离子体。此外目前作为靶材的金属锡在等离子体状态下可以产生三个（或者四个？）能够产生13.5nm的阳离子。而dpp技术路线中用的惰性气体（氙？）只能产生一个这样的阳离子。也就是说，理论上讲在同样重量的靶材下，lpp技术的能量转换效率是dpp技术的三到四倍。如果再考虑到密度上的差一，锡金属vs气体，这个转换效率还会更低！其实这条技术路线早在20年前左右就被商业界给否定淘汰了。其实业界并不想淘汰它，因为lpp技术太难实现，一堆乱七八糟的破事儿。比如锡金属的污染，等离子体化反应稍有偏差，锡金属就会糊到反射镜上，有的直接把反射镜面给毁掉。成本，控制难度因此都增加了不知多少倍。还有液态锡的控制，涉及流体力学，很多东西要重新建模。但是如我前文所说，dpp技术的硬伤太大！
lpp技术出来的时候，第一台超过10w之后两三年就能把功率提高到100w。没过几年就最先达到商用标准（200w）。一般来说euv光源超过200w就可以商用来造芯片了。从功率达到100w之后，dpp技术就退出了商业备选方案。
长春光机所的dpp不是这几年才开始，我记得是0809年就开始搞了（可能记错）。当时euv什么的还只是一个传说。没有任何证据表明euv光刻机能造出来，而dpp我记得也还是一个商业备选方案。
不过今天这条技术路线其实已经被抛弃了。当然，我没有读长春光机所最近的论文，我只读过他们2018年的论文。是否最近有什么特别的奇思妙想能够解决能量转换效率低的瓶颈，这个我不清楚。
就我目前的感觉，这条路恐怕走不通。（还未细致调查，慎重参考，）这里再提一句啊，判断一个技术路线是否走得通是极度复杂的事。
如果瓶颈突破不了，那么100w之后将会寸步难行。不过17w到100w之间可能还有个十年二十年。估计很多博士都毕业了，很多教授都退休了，很多讲师都当教授了……
科研最难的，最重要的部分就是论证可行性。今天的euv光刻机，仅仅只是选定用未来光源用13.5nm的euv这个今天出租车司机师傅侃大山都知道的结论用了整整15年，淘汰dpp，选取lpp用了恨不得10年。
对了，知道中国学界最尴尬的是啥吗？不管是谁立项研究lpp技术路线，都不可能发表任何高档次的论文！因为这东西都已经商业化了，所有能发表的高档次文章早都发尽了！反倒是dpp，因为被不能商业化被抛弃反而能出不少“外国没发表”的成果。
如果没有好论文，怎么博士毕业，怎么评杰青，院士，长江学者呢？又难又没好成果，明白为啥这么多年中国都没有哪个科研机构搞lpp技术路线了吧。
论文论论英雄有很多漏洞，跟唯资本论英雄一样，一旦僵化就会滋生神奇的效果。
这位知乎博主的另一篇文章有很多论述值得一看
第一，EUV光刻机的光源IF功率多少瓦。少于10瓦的请不要相信什么“打破封锁”，“美国怕了”，连输出功率都不提的也请忽略！第二，稳定输出EUV功率多长时间，少于1小时没太大意义，不提这个指标也可以忽略。
靠谱儿的光刻机造出来一定会把重要的性能参数说清楚以提高自豪感。不提重要指标的，就是八字没一撇。
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连朝鲜都能搞火箭核弹，但是EUV光刻机离开了德国，日本，荷兰，美国任何一个都玩不转！没有一个西方国家具备独自造出能赚钱的光刻机的能力。它是整个西方高科技产业链的集合。我说这些什么意思，不是说中国搞不定，而是请不要指望少于10年能搞定。除非在政治外交上有突破，能够跟德国日本建立友好关系，快速补上短板，靠中国自己，这个工程是20年级别的。当然，按照中国自己的规划，我们本来也没打算在2030年前就攻破EUV光刻机的难关，我们现在的目标是2025能够把DUV光刻机造好。
我呢再说一句，如果大家不能沉下心来，承认差距，那么相信我，肯定会有骗子趁虚而入。到时候圈钱的叫好一片，正经的工程没人沉下心做，那就真完蛋了。不行就要慢慢来，慢慢补，绝不可自嗨。汉芯和武汉宏芯的闹剧还不够吗？再搞几个，就真的会把所有信心都折腾没了。
另外这位博主在bilibili网站发了一个通俗解说的视频
外链出处我感兴趣的是其中一句话：ASML总裁认为中国可以在15年内赶上，然后中国媒体引用了该总裁的话，把15年换成3年。
这位博主说的一句话我认为有必要在一片乐观情绪的西西河再重复一遍
如果大家不能沉下心来，承认差距，那么相信我，肯定会有骗子趁虚而入。
通宝推：燕人,家园 这是21年的文章，那时候麒麟9000s还没影呢 而且坦白地讲，那个时候国内确实有文章里说的问题。
但是今天麒麟9000s的面世尤其是mate60pro里面各大供应商的披露，原作者可以抬起头来了。说明我们的产业界已经拧成一股绳了。不然不可能有这种能大规模发售的成品出现。
家园 你觉得可能光刻机之类的一两年起来吗？ 客户验证（行话alpha验证）都要两三年，通过了客户才会下单那时才能真正叫做量产机。
半导体工序上的任何设备材料都这样。
家园 至少有一个漏洞， 光机所不发论文的方向就不做研究了吗？也可能是没发论文外人看不到他们在做研究。何况还可能是分工，各做一条路线。
- 复 至少有一个漏洞，
家园 两开 桥上老师好。
这个事我认为两开。
一方面，我们的院校科研体系的评估方法有缺陷，这个的确要逐步改进。比如唯论文论，唯国外发表论。事实上事情也是在改变。
第二方面是对你意见做点补充。也是分两点：1，单纯从产业化落地论来评院校的科研作用是错误的。本质上跟纯国外论文是一样的。中国院校科研成果落地问题，也是80年代就被狠批的事，往往还摆出数据美国怎么样中国怎么样。这些数据，看看就算了，不能当真的。院校的科研实验项目，我觉得有千分之一，甚至万分之一被社会知道产业化，已经很厉害了。2是建国以来包括“改开”以来，院校对我国工业发展贡献很大，也就是说院校科研落地成果其实很大。只要有心，就能发现国内所有的知名企业，都有院校科研成果的痕迹。不知名的也有很多的。
除了产业落地，院校对企业的方向指引、技术指导、实验检测等方面也是提供了很大的帮助。
再多说一句的是，很多时候，院校科研工作者认为微不足道的事，其实是帮企业解决了问题，甚至是大问题的。
通宝推：桥上, - 复 至少有一个漏洞，
家园 商业化的东西藏起来好干什么？ 问题就在于光机所的技术没有竞争力，不然能够到市场上赚钱谁不去？
家园 我没说藏起来啊，我是说您看不到
- 复 至少有一个漏洞，
家园 科研院所跟华为这种企业比有劣势 就是怎么认定KPI。
作为企业，有明确的目标，按达到这个目标的需求划分责任，给予奖励，KPI定起来是很容易的。华为跟其他企业比，就是给钱实在。虽然你没用了，踢出去是常有的事。但是你有用的时候真金白银绝对不含糊。所以执行力非常强，出活。
科研院所没有统一的目标，在要干什么这个第一步上就有分歧。因为每个院士自己的侧重不同，大钱从基金委科技部立项开始，就要利益均沾式分饼，后面按关系树细化分配。所以最好只能以论文定英雄，毕竟国外审稿人池子大，很难关系搞遍，还比较公平。于是一旦用成果有用当指标衡量，就一塌糊涂了。
家园 不是我地域黑 东北那地方，凡事打八折。。都说光源是长光所，凭直觉就不靠谱。。现在据说是上光所。。
家园 今天国内产业界有自己的研发体系，不依靠科研院所 如果没有好论文，怎么博士毕业，怎么评杰青，院士，长江学者呢？又难又没好成果，明白为啥这么多年中国都没有哪个科研机构搞lpp技术路线了吧。
笔者十年前就指出学术界存在的这种指挥棒问题，等于将指挥棒交给西方，而且是给西方免费劳动，参见 评白猫黑猫论（2）_观点_网友之声_四月网 http://www.m4.cn/opinion/2012-12/1195569_2.shtml
不过高校和科研院所培养了很多学生，还是发挥作用了。
通宝推：qq97,家园 对指挥棒指挥错误是大问题
家园 他忘了中国有多少科学家和工程师 “就让他们说我们这也不行、那也不行吧”，中国人是不信邪的。
家园 那是主席中国，不是现在中国。 “就让他们说我们这也不行、那也不行吧”，中国人是不信邪的。