主题:G2的真义:中国与美国工人受到同一体系的压迫 -- 过来看井大
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可能不一定对。90年代中期,我就用过1974或者1976年上海生产的光刻机,当时4吋的版,用的北京产的光刻胶显影,刻1微米精度没问题。那时候基本上随随便便做。光刻机,因为看见铭牌上的出厂时间,当时觉得特别惊讶,因为一直以来都以为文革时候大家都在闹革命,怎么还会有这个产品。而且90年代初的时候,就听说1微米工艺很牛很难做,对1970年代能做这样的工作觉得不可思议。光刻胶,不知道是不是90年代比70~80年代有改进,但是我们当时显影就用的最简单的NaOH溶液,所以估计光刻胶可能也未必就有很大改进。那家生产光刻胶的好像是在北京东郊,大概是北京化工研究所之类的,不记得了。90年代中后期,去到那里的时候觉得好破。
至于后道工艺,不知道80年代的差距是多少。但是15微米这个说法,我觉得好像必须限定在大规模量产这个范围。
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🙂你这另起炉灶代价会很大,而且效果不一定好 1 达雅 字240 2010-05-30 17:18:07
🙂科学院的集成电路研究是80年代初下马的。 2 littles 字135 2010-05-30 09:49:36
🙂这个恐怕老山比较有发言权 15 山青青 字787 2010-05-30 11:44:50
🙂第一句话
🙂70年代根本连4寸硅片都还没有 2 山青青 字652 2010-06-01 06:24:26
🙂还有 小八顿 字90 2010-06-01 17:32:45
🙂理解,高校研究所能出样品就好,科技进步奖就有了 山青青 字0 2010-06-01 18:30:45
🙂我也不知道诶 小八顿 字433 2010-06-01 17:19:13