主题:G2的真义:中国与美国工人受到同一体系的压迫 -- 过来看井大
共:💬65 🌺97 🌵7
复 第一句话
83年在上无14厂才见到进口的4寸硅片。这个你可以去看一下中国科技发展史之类的。
上海产的是劳动牌的光刻机,一直到现在还能看到。15微米也已经刻不到喽。问题在于机械的精度。刻一微米的光刻机需要有如钟表机构般的精密载片平台,就像佳能的光刻机,来均衡顶力。劳动牌没有这种机构的。你说70年代刻到1微米,从制版上来说也不可能,因为图形发生器也是80年代才进口的。至于用氢氧化钠显影用的更是老掉牙的光刻胶,怎么可能做1微米的线条?
一直到今天,国产光刻机还只能刻到3微米。中电45所和成都的南光。完全仿制佳能的。
其实1微米已经到了接触式光刻机的极限,或者说用接触式不可能刻出1微米的线条的。原因在于图形边缘在水银灯光源的波长产生的衍射。
- 相关回复 上下关系8
🙂科学院的集成电路研究是80年代初下马的。 2 littles 字135 2010-05-30 09:49:36
🙂这个恐怕老山比较有发言权 15 山青青 字787 2010-05-30 11:44:50
🙂第一句话 小八顿 字683 2010-06-01 02:32:45
🙂70年代根本连4寸硅片都还没有
🙂还有 小八顿 字90 2010-06-01 17:32:45
🙂理解,高校研究所能出样品就好,科技进步奖就有了 山青青 字0 2010-06-01 18:30:45
🙂我也不知道诶 小八顿 字433 2010-06-01 17:19:13
🙂嗯,00年的时候江的儿子就是一个晶圆厂的founder 胡子 字130 2010-05-31 11:06:59