主题：【原创】中微半导体45纳米蚀刻机 -- 可梦之
家园 【原创】中微半导体45纳米蚀刻机 今天看到一则新闻，讲到中微半导体的蚀刻机。原文在：外链出处
我的研究和电路设计有点关系，但是也只是略知芯片制造的皮毛。电路设计最终就是画方框，这里放个MOS，那里放条线连接起来。Fab工厂拿到这些方框，首先是经过光照将这些图形转印到硅片上，然后就是蚀刻，四处挖坑。挖了埋，埋了再挖。。。
工艺角度最难的是光刻。光刻和皮影戏差不多，基本过程就是将mask上的形状照射到硅片上。听起来很简单，做起来却非常难，主要是精度的控制。现在的特征尺寸已经远远短于光的波长，这个尺寸上，光的波动性已经非常明显，光线不再是直线，相邻的光也会互相干涉。所以要采用更短的光，要采用更复杂的机制，这里反射一下，那里用放大镜聚焦一下，光刻机就变得复杂无比。世界上能做光刻机的没有几家，好像最大的是ASML，尼康和佳能似乎也做，但是做得好不好就不清楚了。光刻机画好图纸，后面的蚀刻相对简单了。但是蚀刻也是方式最令人眼花缭乱的过程。有暴力的弄一堆嫦娥一号撞机月球的，有阴险的用毒药慢慢腐蚀透骨。新闻里没有提到中微的蚀刻机到底是哪一种。
客观来说，芯片业是美国一家独大。将工厂搬到台湾纯粹是经济上考虑，而不是台湾的技术有多好。实际上工艺最先进的生产线在Intel和IBM。美国政府对之的保护不亚于军事基地，我有生之年估计是进不去了。中国现在还不能制造最先进的光刻机，想买也是极其困难的，所以大陆的工厂比起台湾的都落后不少。饭要一口一口吃，现在能够作出合格的蚀刻机也是一个了不起的进步。
至于专利问题，我觉得到不必太在乎。知识学到手就是自己的，专利官司不过是公司之间的游戏，不必上升到诚信、民族尊严的高度上来。专利是什么？不就是强盗先到一个地方，撒泡尿表示是自己的，然后就堂而皇之的收钱。面对相同的问题，大家的方法肯定也是类似的。但是对不起，我先注册了专利了，交钱来！信息业的框架是美国搭建的，中国要想赶超不太可能全部推倒自己搞一套，也只有一块一块的替代。这个过程中就必然要符合整个框架的规范，侵权是必然的，好像中微就是Applied Materials的一个华人高官海龟创建的。真正的问题是你有没有能力去侵权。中国现在不管造出一个什么来，都被骂抄袭。被骂又如何呢，当初日本不抄袭的更厉害么。被骂是好事，表明他对你没有别的办法了，我热切得期待哪天Intel痛骂中国剽窃的那一天。
而且实话说，现在的专利已经被滥用到了无耻的地步，是个东西，有用没用申请一个专利，先占个坑再说。据说Microsoft周围有些小公司，天天盯着微软用了什么技术，拣漏儿注册专利，然后和微软打官司。当初微软推出ActiveX技术，一个公司就注册了一个什么网上下载程序执行什么乌七八糟的一个idea，然后狠敲了一笔，真是吃大户的阶级兄弟阿！我曾经在某个公司做过实习，该公司以打官司而闻名硅谷，转着圈的和内存厂商打官司。他的股票从来都是大起大落，官司赢了，就做火箭上去了，输了，就跌下了地狱。公司的员工谁没有十个八个专利都不好意思和人打招呼。当然，绝大部分专利都是垃圾。大部分钱还是靠公司刚创立时的那些专利。据说公司的创始人当初是DRAM标准委员会的成员，偷摸的将自己的专利塞到了DRAM标准中。所以你只要作内存，就肯定用到他的专利，就得给他交钱。但是内存本来利润就很低，何况这钱也的确交得太冤枉，于是都不想交，于是天天打官司。不过专利的二十五年有效期快过了，公司日子更不好过了。管理层决定以后自己都不作专利了，专门收购小公司的专利，然后替人打官司！临走的时候，manager苦口婆心的对我说‘以后找工作千万不要找有两个CFO却没有CTO的公司！’
所以山寨也好，侵犯啥也好，自己先作出来最重要。然后谁爱打官司我陪你，等你官司赢了，市场都被我占完了。到嘴的肉吐出来？看看大英博物馆把中国的文物还回来吧。我认为，对于核心科技，国家应该集中力量进行攻关。自己研究也好，高薪挖人也好，总之把技术搞到手就好。否则各个公司单独面对美国整个行业的垄断和压榨，能混到印度那样有汤水喝就不错了。而芯片制造是整个信息业的基石，要特别关注。说实话，软件比硬件好追赶，数学好作软件就不难。然而硬件不是，你的制造能力不强，设计能力不可能强的。Intel的CPU为什么能垄断，不见得他设计的就比AMD的就高明。一个重要原因是Intel有最先进的流水线。别人能做到两个G，他能做到4G。别人能放500个million的transister，他能放1个billion。而且他的设计和制造之间可以交互相互优化。Intel每个系列的处理器第一款基本上是性能并不比AMD的性能好多少，但是经过之后不断的优化，性能往往有几倍的提高，功耗还能大大降低。这些都是AMD所无法比拟的。中国要有自己的世界水平的CPU，就要先建立自己的世界水平的Fab工厂。否则就好像自己也能设计一个类似F22的飞机出来，但你就是制造不出来。
最后一点题外话，‘山寨’一词在去年被吵得一塌糊涂。这个词应该来自于最初联发科推出的整套手机解决方案，使山寨小厂都能定制自己的产品。从技术角度来讲，联发科的集成能力还是挺强的。而且标准化本来就是工业发展的方向，当初也正是福特的流水线才使汽车进入寻常百姓家。现在手机行业有什么权力拒绝标准化呢？我觉得对山寨手机批判的根源在于技术的发展使进入这个行业的门槛大大降低，然而既得利益者依然想维持之前的高利润率，自然对进来搅局的没有什么好脸色了。中国现在就是一个搅局的角色，随着中国技术的发展，使很多行业丧失了原来的垄断利润，被别人骂骂出出气也是应该的。
可梦之 于 2009年3月4日
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作者，声望:1；铢钱:16。你，乐善:1；铢钱:-1。本帖花:1
家园 此言正合我意 什么狗屁专利，中国人不鸟它
家园 国产光刻机 上海微电子装备有限公司的光刻机简介：
SSA600/10型步进扫描投影光刻机用于集成电路前道工艺，可满足用户100nm工艺节点的需求。该设备采用高性能193nmArF准分子激光光源，结合大数值孔径投影物镜和离轴照明技术，可实现高分辨率和高工艺稳定性；可变数值孔径和多种照明模式可满足不同光刻分辨率和焦深要求；大曝光视场、快速对准技术和高同步扫描速度，可实现高生产率、高性能掩模对准和硅片对准技术以及高精度工件台掩模台控制精度，可满足高套刻精度要求。
SSA600/10型步进扫描投影光刻机具有以下优良特性：
高性能193nm ArF准分子激光光源
高性能投影物镜系统，最大数值孔径0.75
支持离轴照明等多种分辨率增强技术，最高分辨率100nm
高速全场对准和高速同步扫描曝光实现高产率
高精度掩模对准和硅片对准系统，对不同硅片工艺具有良好的工艺适应性
高精度六自由度掩模台/工件台定位控制系统
高性能、高可靠性、低生产成本(COO)
家园 这个新闻说得非常的含糊 很难真正评价。新闻中提到的那些技术特点实际上都是常识性的。
国内的ＤＲＹ ＥＴＣＨ设备被ＡＭＡＴ和ＬＡＭ告非常正常。他们的核心技术人员恐怕就是从这两个公司出来。专利问题实际上要高度重视，不是可以不在乎。因为专利问题不能解决，首先就意味着你没法交流。没有人会愿意和你做技术上的交流与合作。再者你的产品也会受到限制。欧美市场一般也进不去了。我怀疑这个专利问题可能不是特别严重，否则ＴＳＭＣ不会接收这个产品的。而且长远看会成为自身的报应。因为你可以抄别人，别人也可以抄你。
你提到的公司应该是ＲＡＭＢＵＳ。它的问题是在参与ＪＥＤＥＣ的标准设计时设下了专利陷井。这些专利目前以在欧美日都被废除。除加州地方法院可能有地方主义的问题外，它以经输掉了与之相关的重要官司。目前的专利制度确实也有很多问题，美国国会当下就正在讨论新的法案。
抄袭最终是不能解决问题的。当年中国引进合成氨，立即就分解模仿了一套，但始终不能正常运转，只有在经过二十余年的基础研究后，９０ 年代末中国才能比较有信心的建设类似设备。大型复杂系统，抄是抄不出来的。摆出抄袭有理的架子更是不好。学习是一回事，抄袭是另一回事。做生意不能摆出一幅我是流氓我怕谁的架势的。最终必须是寻求大家都能接收的利益分配。而专利问题是绕不过去的。
ＳＭＩＣ生产ＤＲＹ ＥＴＣＨ的设备本身是个非常奇怪的事。它是ＦＯＵＮＤＲＹ，为什么要做设备商？我以前对ＳＭＩＣ曾寄以很高希望。现在的看法则是有政府支持对企业的成长恐怕未必是好事。ＳＭＩＣ如果还不能盈利，不知道将来怎么做下去。而盈利的前景实在是不看好。
家园 aokrayd兄难得发这样长文啊，看来也是圈内人士啊。 家园 中微不是smic 中微是半导体设备制造商。
- 复 中微不是smic
家园 是这样啊，中微的英文是什么？ ＳＭＩＣ中文通常叫什么？
家园 smic Semiconductor Manufacturing International Corporation, 中芯国际集成电路制造有限公司，简称中芯国际。
中微，全称中微半导体设备公司。英文名称，Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc.，缩写AMEC。总部在新加坡。上海为生产和研发。
- 复 smic
家园 谢谢，如果上海是ＲＤ，新加坡主要做什么？ 他们和ＣＨＡＲＴＥＲ的联系应该很多吧？
家园 sales and support 在新加坡。
http://www.amec-inc.com/about/Corporate_Fact_Sheet.php
楼下的说总部在中国，我不清楚。不过今年2月25日的半导体国际上的报道还称，
Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. (AMEC, Singapore) will extend its etch product portfolio into the deep reactive ion etch (DRIE) systems required for 3-D interconnects,......
With its corporate headquarters in Singapore, and R&D and manufacturing in Shanghai, China, AMEC has its focus on Asia,
另外，amec是在开曼群岛注册的。呵呵。
家园 3-D interconnects 难道是要做ＴＳＶ吗？这个到确实可以是个方向。技术门槛相对会比较低。
amec是在开曼群岛注册的
让人感觉这个公司好象不是很ＳＥＲＩＯＵＳ，呵呵
多谢老兄的信息
家园 注册这事都那样 SMIC好像也是在那些小岛注册的，主要是为了税收以及外资优惠方面的便利。另外我看到的中文消息都是说总部在上海，跟我同学聊天时她也从来没提过AMEC跟新加坡的关系。当然我也没专门问这个问题。
家园 应该要做的。 3D现在这么热。
摘自同一篇报道里的话：
......said AMEC CEO Gerald Yin. “Our key customers are very aggressive about 3-D devices with through-silicon vias. We want to adapt our technology to etching the deep trenches. I see through-silicon etching happening for us this year or next.”
家园 据我所知AMEC总部在上海 大学同学在那里当SVP，管CVD，去年卖给SMIC两台后就给AMAT告了。这回跟TSMC是我第二次听说他们卖出东西。这个也算不上什么抄了，毕竟这帮人03年就离开AMAT去搞这摊子了。当初AMAT不管他们，等他们一卖出去才行动，本来就是为了市场目的的。过去这些年半导体技术上没什么革命性的突破，5～6年前的东西按roadmap外延一下也就行了。