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主题:【原创】中微半导体45纳米蚀刻机 -- 可梦之

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家园 AMD好像有两个fab

在德国,如果没记错的话。

家园 对了,就是plasma etcher

plasma的刻蚀精度要看Aspect ratio,还有离子密度。

家园 what type of etcher it is

for 200mm or 300 mm product line?

ICP? RIE? downstream asher? or metal etcher?

For Si, for low k oxide, for high k HfO, for nitride?

fluorine based or chlorine based?

it's for trench etch, bosch etch, via etch...?

too many unknown, hard to tell how big advance it is.

家园 tsmc的45nm工艺

不是high k/metal gate的。45nm用high k/metal gate的好像只有intel。

估计是300mm的。我想tsmc现在不会再上200mm设备。

看新闻,该设备用的是等离子。不用区分fluorine 或者 chlorine 吧。

家园 AMD现在是fabless了。

fab那一块剥离出去了,给了阿拉伯人,搞了一个叫foundry company的东西。现在这个foundry company正式叫global foundry。AMD还用这个foundry company为自己生产cpu。

家园 估计就是这个License的问题了

就是看公司愿不愿意费点体力为你申请,而且花费的时间比较长点

如果是要求高的背景审查好像挺花时间的。不过呀,我觉得这个东东就是防君子不防小人,如果真要偷什么技术,国家机器在那里呢,你能查出个花来才奇怪呢。

家园 嗯,华为也有一个子公司是做芯片的,华为海思半导体

大概主要产口是华为内销吧!国内规模比较大的半导体公司,好像有,晶门科技,据说是香港的公司,珠海炬力,中星微电子,还有就是海思半导体,智多微电子。这些是大抵是前几位的,更多的就不清楚了!

家园 这个新闻说得非常的含糊

很难真正评价。新闻中提到的那些技术特点实际上都是常识性的。

国内的DRY ETCH设备被AMAT和LAM告非常正常。他们的核心技术人员恐怕就是从这两个公司出来。专利问题实际上要高度重视,不是可以不在乎。因为专利问题不能解决,首先就意味着你没法交流。没有人会愿意和你做技术上的交流与合作。再者你的产品也会受到限制。欧美市场一般也进不去了。我怀疑这个专利问题可能不是特别严重,否则TSMC不会接收这个产品的。而且长远看会成为自身的报应。因为你可以抄别人,别人也可以抄你。

你提到的公司应该是RAMBUS。它的问题是在参与JEDEC的标准设计时设下了专利陷井。这些专利目前以在欧美日都被废除。除加州地方法院可能有地方主义的问题外,它以经输掉了与之相关的重要官司。目前的专利制度确实也有很多问题,美国国会当下就正在讨论新的法案。

抄袭最终是不能解决问题的。当年中国引进合成氨,立即就分解模仿了一套,但始终不能正常运转,只有在经过二十余年的基础研究后,90 年代末中国才能比较有信心的建设类似设备。大型复杂系统,抄是抄不出来的。摆出抄袭有理的架子更是不好。学习是一回事,抄袭是另一回事。做生意不能摆出一幅我是流氓我怕谁的架势的。最终必须是寻求大家都能接收的利益分配。而专利问题是绕不过去的。

SMIC生产DRY ETCH的设备本身是个非常奇怪的事。它是FOUNDRY,为什么要做设备商?我以前对SMIC曾寄以很高希望。现在的看法则是有政府支持对企业的成长恐怕未必是好事。SMIC如果还不能盈利,不知道将来怎么做下去。而盈利的前景实在是不看好。

家园 我也不支持抄袭

事实上,如同你说的,抄袭也是学不来的。只有自己琢磨出来,才能真正掌握,只有有所创新,才能占领市场。更何况,核心的技术你想抄也没地方抄。

我的意思是说,因为美国等国家在科技上领先,已经在前面所有的路上都设置了专利,你在后面赶超,根本不可能绕过这个问题。无论你怎么走,都会告你侵权。而全面赶超,创建自己的体系还需要一段时间的技术积累。所以专利纠纷是必然经过的阶段。作为国内厂商,应该将主要经历放在研发和市场推广,而不是被专利问题束手束脚。当然不是说鼓励去抄袭。更何况,成功是不能重复的。你抄袭别人的,那就肯定在人家的后面。能有汤水喝就不错了,还怎么去超越。

现在欧美公司怕的不是中国厂商的抄袭,因为谁都明白抄袭是没有前途的。他们真正害怕的是中国公司在一些领域已经自己琢磨明白了。再这样下去,就能研制出自己的产品,这样他们就没有好日子过了。就好像华为一样,一直被说抄袭cisco。但是说实话,抄袭cisco的公司多的是,美国就有一堆。只有你自己研究透了,才能占领市场。只是网络整个框架和标准大部分都是cisco定的,你不符合他的标准就没有办法用。而你符合他的标注,类似的问题很难有迥异的解决方法,那就说你侵犯专利。这个问题只有等华为成长到足够大了,能够参与订立行业标准才能解决。不过那个时候如果有新的竞争者出现,就成了华为告别的公司侵犯专利了。我们应该承认成长的过程中多多少少有抄袭,但是成功的原因肯定不是抄袭。否则cisco也不会撤诉了。

事实上,专利的历史并不长。只是先进公司保持自己垄断的一种手段。它对知识创新客观上有好处。但是现在也有不少问题,有时候反而阻止了知识创新。

政府支持企业有利有弊。有成功的,比如日韩一些大公司,背后都有政府的身影。当然照顾太多就失去了竞争力。我觉得应该避免的是无条件的支持,而是真正支持那些有技术,有竞争力的公司。因为大多时候,决定一个公司成败的往往不是技术。面对IT巨头庞大的资金和资源,没有政府的支持,刚冒出个苗头来就被直接按死了。美国公司内部还可以相对公平的竞争,但是中国的公司插进去想要那个公平的环境,就很困难了。

家园 突然想到海盗问题

你说到专利问题,其实和历史上的海盗问题有些类似。西班牙强大的时候,英国海军不行,就只能去抢,所以那时候大部分海盗背后都有英国政府的支持。等英国打败了西班牙,强大起来。就开始剿灭海盗了。其实专利就是一个利益斗争的工具。

家园 中微不是smic

中微是半导体设备制造商。

家园 是这样啊,中微的英文是什么?

SMIC中文通常叫什么?

家园 这些问题很复杂

不过从半导体来说,后进赶前进并不是不可能的。专利问题并不是核心。

SAMSUNG的DRAM技术从TOSHIBA来,但它以经迫使T退出了DRAM,现在在FLASH上它也是T的有力竞争者。S加入半导体不过是十多年的事情。TSMC在生产效率上也超过了美国,所以TI,IBM把生产转到了TSMC UMC。

技术进步上没有捷迳可走。扎实的基础研究尤其重要。RD是需要一个长期策略的。不过我觉得关键是不论做什么,一定要有盈利的前景和策略,否则总归是不行。随便说说吧。。。

家园 smic

Semiconductor Manufacturing International Corporation, 中芯国际集成电路制造有限公司,简称中芯国际。

中微,全称中微半导体设备公司。英文名称,Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc.,缩写AMEC。总部在新加坡。上海为生产和研发。

家园 支持

不过我觉得关键是不论做什么,一定要有盈利的前景和策略,否则总归是不行。

毕竟圣人都是稀少的。要有利益刺激大家才会去努力。

不过韩国和台湾与美国的关系都比大陆亲密的多。如果能买到先进的生产线,我相信中国能比他们作的更有效率。

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